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利用气溶胶输送系统制造玻璃体的装置和方法

2025-06-17 20:303200下载
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文件大小:1571K
一种制备玻璃体的方法,该玻璃体包含多种组分,其中至少一种是具有低蒸气压(LVP)前体的掺杂剂(例如稀土元素),该方法包括步骤:(a)由LVP前体产生气溶胶;(b)分别产生其它组分的蒸气;(c)使气溶胶和蒸气传送到包括衬底的沉积系统;以及(d)在衬底表面形成至少一个掺杂层。在一个实施方案中,该方法还包括过滤该气溶胶,以便除去在特定尺寸范围外的气溶胶颗粒。还描述了在产生稀土掺杂剂气溶胶方面特别有用的独特的气溶胶发生器。描述了致力于制备掺杂Yb的光纤的具体实施方案。


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