一种基于原位反应的致密金属氧化物陶瓷薄膜的制备方法

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本发明基于原位反应的致密金属氧化物陶瓷薄膜制备方法，特征是先将化学计量比混配的金属氧化物粉体和碱土金属碳酸盐粉体∶无水乙醇∶三醇乙胺按质量比5－15∶100∶0.5－1的比例混合，球磨混合均匀，所述金属氧化物为稀土金属氧化物或/和过渡金属氧化物；再加入质量比为0.5－1的聚乙二醇、0.5－1的邻苯二甲酸二丁酯和0.2－0.5的聚乙烯醇缩丁醛，将球磨混合均匀后的浆料在载气带动下喷到200－300℃的具有烧结收缩性的陶瓷基底上，在1350℃－1450℃原位反应烧结至致密。本方法将陶瓷的成膜与成相一步完成，操作简便，陶瓷膜厚度可控在5μm－30μm；还部分克服了不同的基底与薄膜材料之间热匹配问题。