铈系研磨材料

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本发明的目的是提供在研磨损伤的产生得到抑制的同时研磨速度得到大幅改善的铈系研磨材料。本发明的铈系研磨材料的特征在于，它是相对于全部稀土类氧化物(TREO)的氧化铈含量为95质量％以上的铈系研磨材料，利用激光衍射·散射法测得的从小粒径侧开始的累积体积50％的粒径(D50)值为1.3～4.0μm。此外，较好的是本发明的铈系研磨材料通过基于Cu－Kα1射线的X射线衍射分析测定的氧化铈的最大峰的半宽度以2θ计为0.1～0.5°。