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本发明公开了一种顶出光电极及其制备方法。本发明所提供的顶出光电极,包括衬底和位于衬底上的有机发光层,其中,有机发光层上设有稀土元素层,在稀土元素层上还设有该稀土元素与Au或Ag的复合层。本发明用低功稀土元素/低功稀土元素:Au或Ag复合层作为顶出光电极的上电极材料,可以兼顾透光率、稳定性和低成本等要素,该电极可以用普通的真空蒸镀方法来完成,制备方法简单;而外层的低功稀土元素:Au或Ag复合层导致的光吸收和光反射都较Ag层小,且不易被氧化,从而较好保证了器件的电稳定性和发光稳定性,同时又有较好的防止水汽透入有机层的作用。本发明的顶出光电极可广泛应用于无机薄膜、半导体发光,光电器件和光探测器等方面。