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多晶金刚石磨蚀元件及其制造方法

2025-06-17 09:323710下载
文件类型:PDF文档
文件大小:514K
通过掺入低含量的至少一种金属硼化物制造的多晶金刚石磨蚀元件,该金属选自镁、钙、铝、锶、钇、锆、铪和铬,以及稀土金属,优选铈和镧。将硼加入多晶金刚石磨蚀坯块中的优点是充分使用以及同时最小化或消除氧的存在的有害效果。


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