氧化钪功能薄膜及其制备方法

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氧化钪功能薄膜及其制备方法，涉及功能薄膜的制备方法。该薄膜的化学表达式为：RE2x : Sc2(1－x)O3，0＜x＜20；RE＝Eu，Er，Dy，Nd，Yb；其中稀土掺杂相可以是单相掺杂或混合相掺杂。该薄膜采用溶胶－凝胶法制备，选用Sc2O3以及掺杂稀土离子氧化物为原料，采用表面活性剂为甘氨酸。膜厚利用镀膜的次数和溶液中络合剂及表面活性剂加入量进行控制。实验获得厚度理想的均匀致密薄膜。此方法工艺设备简单、原料易得、成本低。