绝缘体上半导体的衬底以及由该衬底所形成的半导体装置

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一种绝缘体上半导体(SOI)装置包含有钙钛矿晶格的介电质材料(52)层，例如稀土钪酸盐。该介电质材料(52)通过选定以便具有有效晶格常数，藉此能直接成长具有金刚石晶格的半导体材料(54)于该介电质(52)上。该稀土钪酸盐介电质的实施例包含：钪酸钆(GdScO3)、钪酸镝(DyScO3)、以及钪酸钆与镝的合金钪酸(Gd1－xDyxScO3)。