表面覆盖部件及其制造方法以及工具和加工装置

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本发明提供一种表面覆盖部件，该材料是，维氏 硬度(Hv)与以往的高硬度覆膜相同或在其以上，并且具有表示 耐氧化性的氧化开始温度比以往的高硬度覆膜高的高硬度覆 膜。在本发明中，在基体材料上形成涂层，所述涂层含有以 Al和选自Zr、Hf、Pd、Ir以及稀土元素中的至少一种元素作 为主要成分的复合氮化物。