成膜方法及成膜装置以及永久磁铁及永久磁铁的制造方法

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有效地利用成膜材料的成膜材料的Dy、Tb，而高速地成膜於所定形状的铁–硼–稀土类系的磁铁表面以提高生产性，并以低成本可制造永久磁铁。於所定形状的铁–硼–稀土类系的磁铁表面，成膜Dy的成膜工程，及在所定温度下施以热处理而将成膜於表面的Dy扩散於磁铁的结晶粒界相的扩散工程来制造永久磁铁。这时候，成膜工程是由：加热实施该成膜工程的处理室，而蒸发事先配置於该处理室内的Dy并将具所定蒸气压的Dy蒸气气氛形成於处理室内的第一工程，及将保持比处理室内的温度还低的磁铁搬进该处理室，该磁铁达到所定温度为止，藉由处理室内与磁铁之间的温度差将Dy选择性地附着堆积於磁铁表面的第二工程所构成。