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薄膜晶体管、显示面板及薄膜晶体管的制作方法

2025-06-21 18:064470下载
文件类型:PDF文档
文件大小:615K
本发明实施例公开了一种薄膜晶体管、显示面板及薄膜晶体管的制作方法。该薄膜晶体管包括:有源层设置于玻璃基板表面,源极和漏极与有源层连接;第一绝缘层,设置于有源层远离玻璃基板的一侧;栅极层,设置于第一绝缘层远离玻璃基板的一侧;第二绝缘层覆盖源极、漏极和栅极层,第二绝缘层上设置有通孔,通孔裸露出源极和漏极;有源层采用的材料为(MO)x(RO)y(TO)z,其中0
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