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本发明涉及稀土改性的纳米氧化钛薄膜材料及其纳米氧化钛薄膜的制备方法。对于稀土改性的氧化钛薄膜材料，由于稀土的添加，引起锐钛矿晶体中缺陷的产生，氧化钛的半导体性能改善，使得紫外光的吸收波长移向更高波长，提高了自然光的利用率，玻璃表面更加耐腐蚀和抗磨，自清洁功能也进一步增强。通过添加稀土以及合理的涂覆工艺，控制氧化钛薄膜的厚度低于250nm，锐钛矿晶粒度低于50nm，对光谱的吸收波数可以达到400cm-1，亲水性能优异，可见光透过率可达80％。这种涂覆于玻璃的纳米氧化钛薄膜具有较强的减轻紫外辐射、表面自清洁和抵抗玻璃表面腐蚀、冲刷等功能。