一种镍氢电池用多层薄膜电极及其制备方法

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本发明是一种镍氢电池用多层薄膜电极及其制备方法，薄膜电极由基体薄膜和保护膜组成，基体薄膜的主要成分为镁和镍，化学组成为Mg[p-x]A[x]Ni[1-y]B[y]，A为Al、Mn、Y或混合稀土，B为Cu、Zr或V，其中1.0≤P≤2.5，0≤x≤1.5，0≤y≤0.8，所述基体薄膜和保护膜交替覆盖，所述保护膜为Pd、Pt、Ag或Au，或上述元素任意二元或多元合金，或合金C[1-γ]Mg[γ]Ni[t-q]D[q]构成的催化保护膜，C包括混合稀土，D包括Al、Mn或Co，或上述元素任意二元或多元合金，其中γ＝0，0≤q≤2.5，3≤t≤5.5。该制备方法是首先用感应熔炼或粉末冶金方法预制合金靶，然后用物理气相沉积方法在基片上制成基体薄膜，在基体薄膜表面沉积催化保护膜，重复以上步骤得到多层薄膜。该薄膜可用于镍氢电池负极，特点是薄膜晶粒细小，具有很大的比表面积，大电流放电性能好，纳米多层复合具有复合增强效应和多重催化作用，电极使用寿命长；可以集成在微机械器件中，为微器件的发展提供动力支持。