具有耐腐蚀层的陶瓷制品、结合了该陶瓷制品的半导体加工设备以及制造陶瓷制品的方法

文件类型：PDF文档
文件大小：773K
提供了一种制品，该制品包括基材和在该基材上 的耐腐蚀涂层。该基材通常主要由氧化铝组成，耐腐蚀涂层与 基材直接接触，因此在基材和耐腐蚀层之间不存在中间层，例 如高温处理过程生成的反应产物。耐腐蚀涂层通常主要由稀土 氧化物组成，其粘合强度不小于约15兆帕。根据特定的实施 方式，所述制品是用来加工半导体晶片的半导体加工设备中所 用的陶瓷部件。