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本发明提供一种采用特殊元素掺杂的Nb基氢透过合金及制备方法,其化学通式为Nb100‑(x+y+z)MxNyPz;其中,M为Ti、Zr和Hf中的1种或者1种以上的元素,N为Ni或者Co中的1种或者1种以上的元素;P为Cr、Fe、Cu、Al、Mo、Ru、Rh、W、Si、Mn、Sn、Zn和Mg中的1种或者1种以上的元素,20≤x≤30、10≤y≤30、5≤z≤20,x, y, z均为摩尔百分数。其制备方法包括:切割原材料,并清理原材料表面;计算原料成分,并进行原料称量,电弧熔炼成合金铸锭。本发明利用真空电弧熔炼法制备出了添加各种稀土元素的具有较好渗氢和抗氢脆性能的氢透过合金膜材料。