抑制突起物在金属沈积膜中生成的方法

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根据本发明的抑制突起物在金属沈积膜中生成的方法的特徵在於使用在一真空处理容室中包含沈积材料用之一蒸发部份及分别用来容纳及／或固持工件的一容纳构件及／或一固持构件的一汽相沈积设备，并且在使容纳构件及／或固持构件绕其水平旋转轴线旋转之下在工件的表面的每一个上沈积金属沈积材料时，在将形成在工件的表面的每一个上的膜的维克氏(Vickers)硬度保持在等於或大於25之下执行汽相沈积。根据本发明，当在例如以稀土金属为基础的永久磁铁的工件的表面上形成铝，锌，或类似者的金属沈积膜时，可有效地抑制突起物在金属沈积膜中生成。