分享好友 知识库首页 频道列表

单元热释电红外探测器件及其制备方法

2025-07-27 17:283660下载
文件类型:PDF文档
文件大小:344K
单元热释电红外探测器件及其制备方法,属于材 料与元器件技术领域。器件包括上下电极和BST陶瓷半导体(5) 和包裹在其外面的BST陶瓷氧化层介质(6);BST陶瓷半导体 (5)由掺有1~5wt%稀土杂质的 (Ba0.7Sr0.3)TiO3基瓷料经高温烧 结和还原热处理制得,其厚度<0.20mm,电阻率小于10Ω·cm; BST陶瓷氧化层介质(6)由BST陶瓷半导体(5)经表面氧化制 得,其厚度控制在5~10μm。器件的制备方法至少包括以下 顺序步骤:瓷料制备、瓷胚制作、高温烧结、还原气氛热处理、 表面氧化和电极制作。本发明有利提高热释电红外探测器件的 热释电系数,从而提高热释电红外探测器灵敏度;通过瓷体半 导化层和表面绝缘层厚度的适当选择,既可保证探测器的强度 又可保证探测器的性能;制备方法简单易控。


请登录查看


反对 0
举报 0
收藏 0
打赏 0
评论 0

loading