含有氟之铈系研磨材料及其制造方法

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本发明之铈系研磨材料系含有氟，全稀土类氧化物换算质量(TREO)相对於研磨材料质量之质量比成为90wt%以上，Th和U之合计含有量相对於该TREO之质量比((Th+U)/TREO)成为0.05wt%以下，布莱恩法平均粒径(DB)成为1.5μm~2.5μm。进行以布莱恩法平均粒径(DB)作为基准之粒径设定之铈系研磨材料系控制研磨材料粒子之粒度分布而确保必要之研磨速度。因此，在铈系研磨材料制造时，在使用布莱恩法平均粒径(DB)於粒度设定基准时，得到减低钍或铀等之含有率并且具有高研磨速度的铈系研磨材料。