绝缘体上覆半导体之基板以及由该基板所形成之半导体装置

文件类型：PDF文档
文件大小：2392K
一种绝缘体上覆半导体(SOI)装置系包含有钙钛矿晶格的介电质材料(52)层，例如稀土金属钪酸盐。该介电质材料(52)系经选定以便具有有效晶格常数，藉此能直接成长具有钻石晶格的半导体材料(54)於该介电质(52)上。该稀土金属钪酸盐介电质的实施例包含：钪酸钆(GdScO3)、钪酸镝(DyScO3)、以及钪酸钆与钪酸镝的合金(Gd1–xDyxScO3)。