金属电阻材料、溅射靶材、电阻薄膜及其制造方法

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本发明提供一种具有比Ni－Cr－Al－Si系合金 更优良的高温稳定性，并且电阻温度系数几乎为0的金属电阻 材料。采用含有Al：1.0～15.0重量％、稀土类元素：0.01～0.5 重量％，其余部分实质上由Cr及Ni构成，Cr/Ni重量比为0.15～ 1.1的溅射靶材，用溅射法形成的电阻薄膜，对该电阻薄膜在 大气中，于200℃～500℃、1～10小时的条件下进行热处理。