稀土氟氧化物烧结体以及其制造方法

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本申请的稀土氟氧化物烧结体以LnaObFc(Ln表示稀土元素。a、b和c各自独立地表示正数并且不满足a＝b＝c)或经Ca稳定化的LnOF作为主相，并以未经Ca稳定化的LnOF作为副相。未经稳定化的LnOF的(018)面或(110)面的X射线衍射峰的强度与LnaObFc的X射线衍射峰的最强峰强度之比优选为0.5％～30％。