附皮膜之基材、电浆蚀刻装置用零件及该等之制造方法

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本发明所提供的附皮膜之基材，系基材表面上设有耐电浆性高、不易剥落、耐酸性优异、及表面电阻值高之熔射皮膜; 本发明的附皮膜之基材，系於基材表面上具备皮膜者；其中，上述皮膜系厚度10~1000μm，含有稀土族元素(Ln)的氟化物与氧化物作为主成分；上述皮膜表面中，主成分为稀土族元素(Ln)之氧化物、具备单斜晶构造且特定直径的粒子状部分[α]、以及主成分为稀土族元素(Ln)之氟化物、具备斜方晶构造且特定直径的粒子状部分[β]，系分散存在於主成分为稀土族元素(Ln)之氟化物的非晶质基质中；又，针对上述皮膜的表面，若使用光学显微镜观察，有确认到白色斑点状部分，该斑点状部分在观察视野内所占面积率低