一种球形纳米掺氟CeO2抛光粉的制备方法

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本发明公开了一种球形纳米掺氟CeO2抛光粉的制备方法，具体涉及一种平均粒径30~60nm、分散性较好的球形纳米掺氟CeO2抛光粉(掺F质量百分比2~6%)，其特征在于采用氟化铵或氟化钠作为氟化剂，以稀土盐及其配体为反应物，在室温球磨固相化学反应生成前驱体的同时进行掺氟，经中温热分解获得球形纳米掺氟氧化铈，既能方便、有效地控制纳米CeO2的形貌及粒度，又能使氟的掺杂更加均匀，得到分散性好、粒度均匀的球形纳米掺氟CeO2抛光粉，其安全性高，同时化学原料廉价、污染少，无需复杂设备，工艺简洁，可重复性高，工业化生产前景好。