半导体零部件、等离子体处理装置及耐腐蚀涂层形成方法

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一种半导体零部件、等离子体处理装置及耐腐蚀涂层形成方法，其中，所述半导体零部件包括：半导体零部件本体；耐腐蚀涂层，位于所述半导体零部件本体的表面，由稀土元素氟氧化物的结晶相和非晶相组成，且所述结晶相与非晶相位于同一层，非晶相弥散在结晶相中。所述半导体零部件应用在先进的制程中能够降低颗粒污染问题。