稀土离子掺杂ITO靶材的制备方法

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本发明提供一种稀土离子掺杂ITO靶材的制备方法，属于ITO靶材领域，通过粉末真空上料‑粉末粗磨‑‑粉末精磨‑粉末纳米级砂磨‑浆料配胶‑喷雾造粒‑混合过筛制得ITO靶材的粉末，再进行干压、冷等静压成型‑素坯进行车削加工‑烧结‑机加工‑绑定检测，通过添加稀土氧化物粉体，解决了高铟锡比ITO靶材致密度不高、容易开裂的问题，提高了薄膜的载流子迁移率，可以更好地应用于太阳能电池行业。