微晶氧化物颗粒弥散强化合金涂层的原位制备方法

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本发明涉及微晶氧化物颗粒弥散强化合金涂层的原位制备方法，属于涂层技术领域，可用于制备抗腐蚀、耐磨涂层及触点材料的导电抗烧蚀涂层等。合金涂层由低亲氧性组元铜、铁、镍、钴或其组合和高亲氧性组元铬、铝、锆、钛、硅及稀土亲氧元素如钇、镧、镝、铈或其组合构成。将上述组元通过熔炼或热压烧结制作成电弧离子镀靶材，在低氧分压气氛中沉积，获得前驱体涂层，然后在真空或惰性气氛中退火，涂层中吸附和固溶的氧与高亲氧元素发生原位反应，形成纳米/亚微米级氧化物颗粒弥散分布于金属母体中的复合涂层。本发明利用了电弧离子镀的优点，使所制备涂层组织致密，氧化物颗粒尺寸可控，工艺稳定性高，成本较低，适于工业化应用。