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本发明公开了一种高效耐湿臭氧分解催化剂及其制备方法和应用。所述的高效耐湿臭氧分解催化剂以分子筛为载体,以锰氧化物和铜氧化物为主要活性组分,同时掺杂少量稀土金属氧化物。该高效耐湿臭氧分解催化剂的制备方法首先以分子筛为载体,进行超声清洗、稀硝酸浸渍、洗涤、烘干、煅烧预处理;然后在锰氧化物和铜氧化物前驱体混合溶液中浸渍,烘干煅烧;负载锰氧化物和铜氧化物的步骤可根据实际需要重复几次;最后将上述样品在稀土金属氧化物的前驱体溶液中浸渍后,烘干煅烧,得成型催化剂。该高效耐湿臭氧分解催化剂制备工艺简单,原材料成本低污染小,可长时间高效处理高湿度高浓度的臭氧废气,具有良好的应用前景。