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本发明公开了一种常温高效催化降解制药行业VOCs废气的方法,属于废气治理技术领域,其包括如下步骤:先将废气从底部进入第一喷淋塔,与自上而下喷淋下碱性的喷淋液相向碰撞,中和酸性成分形成盐并捕集粉尘,从底部排出,废气从顶部排出;从底部进入第二喷淋塔,溶解废气中的可溶成份形成的溶解液从底部排出、顶部排出的废气中通入臭氧,在负载Pd元素的纳米稀土复合催化剂的作用下,臭氧与废气中的水分反应,生成的O2和羟基自由基与废气产生氧化还原反应,生成CO2和H2O,完成废气的处理。此种处理方法不需要加热,在常温下就能进行,因而所需成本较低,可以适合大规模的制药VOCs废气处理的使用。