一种新型抗氦离子溅射的钒合金及其制备方法

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本发明公开一种新型抗氦离子溅射的钒合金，解决现有技术存在抗氦离子溅射能力不强的问题。本发明所述的合金中，各种组分的重量百分比为：Cr：3.0～6.5％，Ti：3.0～6.5％，Y：0.1～2.0％，V：余量。同时，本发明还提供了制备该种合金的方法。本发明中的钒合金以V-Cr-Ti三元合金系为基础，将Cr、Ti作为主要合金元素，通过简单的合金化手段，利用稀土元素钇的添加来降低钒合金中固溶氧的含量，减少铸锭晶粒尺寸，并结合塑性变形的加工手段，使高温性能稳定的钇氧化物弥散分布于基体上，同时使高温退火后的合金晶粒尺寸显著细化并均匀化，从而提高了合金韧性，使合金抗氦离子溅射的能力得到大幅增强。