一种能够提高晶硅太阳能电池转换效率的方法

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本发明公开了一种能够提高晶硅太阳能电池转换效率的方法，包括以下步骤：(1)对硅片制绒，扩散制PN结，刻蚀清洗，PECVD镀减反射膜；(2)在减反射膜中进行稀土离子注入；(3)注入完成后，将硅片在氮气气氛的高温炉里退火，取出冷却至室温；(4)最后对硅片丝网印刷制电极，烧结形成具有光波转换特性的成品晶硅太阳能电池。本发明在减反射薄膜上利用离子注入技术对其掺杂稀土离子，使其具备光转换特性，提高了晶硅太阳能电池在高能量紫外区域光子利用率，从而提高了电池转换效率；工艺简单易行，能够与现有的电池片制造工序相衔接，不需要对现有设备进行改造，节约成本，离子注入技术容易实现量产，可行性好。