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陶瓷构造体、基板保持装置用元件以及陶瓷构造体之制法

2025-06-17 18:394260下载
文件类型：PDF文档
文件大小：1229K
本发明的陶瓷构造体10系在圆盘状陶瓷基体12的内部内建有电极14陶瓷基体12系主成分为氧化铝或稀土族金属氧化物的烧结体，热膨胀系数在40~1200℃下为7.5~9.5ppm/K电极14的主成分系金属钌电极14系可形成片状，亦可依扩展於面全体的方式依照一笔画要领形成图案


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