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本发明公开了一种M3Si6O12N2 : xRe体系绿色荧光粉的制备方法,其中,M为Ca、Sr、Ba元素中的一种或者两种以上元素的混合,Re代表稀土元素,0.2mol%≤x≤20mol%,该方法首先按照所述绿色荧光粉化学式中各元素的化学计量比称取原料,充分混匀后装入由透波材料制成的匣钵内,将匣钵放入专业微波炉,在一定气体氛围下,通过调整微波功率控制升温速率,加热至合成温度,最后经冷却、简单研磨,得到该体系绿色荧光粉。与现有的高温固相法相比,本发明采用微波加热,从而将合成温度降低至1000℃~1500℃,并且缩短了反应时间,提高了生产效率;制得的绿色荧光粉具有粒径细、结晶性好、粒度分布范围窄、形貌规整、颗粒分散性好等优点,适用于尤其白光和背光源LED。