三元铝合金薄膜和靶

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提供了平板显示器制造用的物理蒸气沉积靶。该靶包括一种三元合金体系，该体系以原子百分率计有数量约90～99.98的第一组分，其中第一组分是铝；数量约0.01～2.0的第二组分，其中第二组分是一种选自Nd、Ce、Dy和Gd组成的一组的稀土元素；和数量约0.01～8.0的第三组分，其中第三元素选自Ni、Co、Mo、Sc、和Hf。