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本发明涉及一种稀土氟化物纳米纤维材料及其制备方法,属于无机纤维制备技术领域。本发明提供的稀土氟化物纳米纤维,其特征在于,所述的稀土氟化物纳米纤维为一种纳米纤维结构,纳米纤维的直径70~200nm,长度大于1μm;所述的稀土氟化物纳米纤维的通式为REF3,其中RE为稀土元素La、Ce、Y、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu中的一种,F为氟元素。本发明包括四个步骤:首先配制纺丝液,然后通过静电纺丝制备稀土化合物/高分子前驱体纤维,进一步通过热处理得到稀土氧化物纳米纤维,最后经过氟化处理获得稀土氟化物纳米纤维。