稀土真空高压脉动低温化学热处理方法及其系统

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稀土真空高压脉动低温化学热处理方法及其系统，它涉及一种化学热处理方法及其装置。为解决现有化学热处理工艺存在生产过程周期长、效率低、温度高、能耗高、变形大的缺点，本发明的方法包括下述步骤：将工件置于真空马弗罐中，依次加入稀土的醇溶液→NH3→N2，在10～20kPa→1～5个大气压下反复脉动。所述系统包括渗剂系统、真空系统、高压系统与计算机控制平台，其中真空系统包括加热炉、真空马弗罐、热电偶温度传感器、机械真空泵和残氨吸收过滤器，渗剂系统包括渗液计量杯和渗剂气罐，高压系统包括高压氮气储气罐。本发明具有生产周期短、渗速快、温度低、变形小等优点，渗速提高2～3倍，组织性能全面提高。