稀土铜缓蚀剂及其表面处理工艺

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本发明公开了一种稀土铜缓蚀剂及其表面处理工艺，缓蚀剂包括混合稀土盐、磺基水杨酸、苯并三氮唑、柠檬酸和水，上述配方中的混合稀土盐为下列化学药品的混合物：La2O3、Y2O3、Eu2O3、Ce2O3。所述的铜缓蚀剂的几种主要成分均为绿色水处理药剂，对环境无危害，缓蚀效率高，是一种符合可持续发展需要的缓蚀剂，所述缓蚀剂原料易得，成本较低，表面处理工艺操作简单，溶液成分稳定且维护调整方便。