金属表面富含稀土元素超耐磨合金层的生产装置

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本实用新型涉及一种金属表面富含稀土元素超 耐磨合金层的生产装置，其包括内部设有工件放置平台，且具 有进气口和排气口的真空室，该真空室上设有用于放置或取出 工件的可封闭的门，所述真空室的外壁上设有与该真空室内部 连通的金属蒸汽真空弧离子源、气体离子源和电子枪；所述真 空室的外壁上还设有一个一端与该真空室内部连通的磁过滤 管道，该磁过滤管道的另一端连接有过滤阴极弧等离子体源； 所述磁过滤管道的外侧绕设有与电源连接的电磁感应线圈。本 实用新型利用技术组合，为众多应用领域中不断出现的新的应 用问题提供了有效的技术解决手段，克服了过去注入技术不能 将多种离子有效地形成超耐磨合金的缺陷。