含氟铈系研磨材料及其制造方法

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本发明的铈系研磨材料含有氟，全稀土类氧化物换算质量(TREO)与研磨材料质量的质量比在90wt％以上，Th和U的合计含量与该TREO的质量比((Th+U)/TREO)在0.05wt％以下，布莱恩法平均粒径(DB)为1.5μm～2.5μm。为了确保必要的研磨速度，对进行了以布莱恩法平均粒径(DB)为基准的粒径设定的铈系研磨材料进行研磨材料粒子的粒度分布的控制。因此，铈系研磨材料制造时如果采用布莱恩法平均粒径(DB)作为粒度设定基准，则可获得钍和铀等的含有率有所减少、且具备高研磨速度的铈系研磨材料。