溅射靶及其制造方法

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本发明涉及一种具有平均结晶尺寸为1nm～ 50nm的组织的烧结体溅射靶，特别是由3元系以上的合金组 成，以从Zr、Pd、Cu、Co、Fe、Ti、Mg、Sr、Y、Nb、Mo、 Tc、Ru、Rh、Ag、Cd、In、Sn、Sb、Te、稀土类金属中选择 的至少一种元素作为主要成分的烧结体溅射靶。通过烧结喷雾 粉制造该靶。能够代替结晶组织粗糙，且通过成本高的把溶融 金属粹火得到的块状金属玻璃，提供具有通过烧结法得到的高 密度的极其微细且均匀的组织的靶。