AI－Ni－稀土类元素合金溅射靶

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本发明提供一种可以减小制造时以及使用时所 产生的翘曲(变形)，并能够高精度、高效率地制造靶，而且可 以进行稳定的成膜作业的Al－Ni－稀土类元素合金溅射靶。是 一种包含Ni以及1或2种以上稀土类元素的Al基合金溅射靶， 其特征在于，在以倍率：2000倍以上观察与该靶平面垂直的剖 面的时候，纵横尺寸比为2.5以上、且当量圆直径为0.2μm以 上的化合物存在5.0×104个 /mm2以上。