文件类型:PDF文档
文件大小:689K
本发明提供一种在至少由接合面是蓝宝石组成 的第一部件和至少由接合面是蓝宝石或多晶氧化铝组成的第 二部件的结合体中,结合强度高,防止了在接合界面产生裂纹 的接合体。使接合材料用的原料介于第一部件(2)和第二部件 (4A、4B)之间,通过在1730℃以下对该原料进行热处理使第一 部件和第二部件接合起来。或者,接合材料(5A、5B)由包含稀 土类元素、铝以及硅的氧化物或氮酸化物组成,氧化物或氮酸 化物中硅的比率换算成二氧化硅的话在3mol%以上、10mol% 以下。