文件类型：PDF文档
文件大小：705K
本发明提供一种使用化学－机械抛光系统抛光 具有金属层的基片的方法。化学－机械抛光系统包含研磨剂及 /或抛光垫、稀土盐、比稀土盐更强的氧化剂以及液态载体。
稀土盐/氧化剂为基础的化学－机械抛光方法
2025-06-19 19:582860下载
点赞 0
反对 0
举报 0
收藏 0
打赏 0
评论 0
- 一种复合型沙澧特梨子用保水缓释肥料
0下载405浏览236K
- 一种用于合成甲基丙烯酸的催化剂的制备方法
0下载125浏览402K
- 一种弥散贵金属微粒增韧复合热障涂层及制备方法
0下载262浏览785K
- 一种轻烃芳构化方法
0下载138浏览509K
- 用三氟甲磺酸稀土金属化合物催化合成聚四氢呋喃的方法
0下载267浏览364K
- 纳米仿生态稀土转光剂及纳米仿生态稀土转光农膜及其制备方法
0下载368浏览808K