合成石英玻璃基板用研磨剂及合成石英玻璃基板之研磨方法

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本发明是一种用于合成石英玻璃基片的抛光材料，它包括磨粒和水， 其特征在于，所述磨粒包含二氧化铈颗粒作为基础颗粒，以及固定在所述基础颗粒表面上的复合氧化物颗粒，所述复合氧化物颗粒包含铈和选自除铈之外的三价稀土元素中的至少一种稀土元素。 因此，提供了一种用于合成石英玻璃基板的抛光材料，其具有高的抛光速率并且能够充分地抑制抛光缺陷的产生。