一种镀膜方法和镀膜系统及稀土磁体的制备方法

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本发明公开一种镀膜方法和镀膜系统及稀土磁体的制备方法。本发明的方法和系统将磁体在水平方向多行排列在传送装置上；多行排列的磁体依次通过溅射镀膜设备的溅射区，完成镀膜；溅射镀膜设备与磁体上表面的垂直距离为10 200mm。本发明的方法和系统采用连续通过式的磁控溅射设备溅射Dy、Tb等重稀土金属在磁体表面，有效控制溅射层的厚度，保证溅射层的均匀，从而保证对溅射后磁体进行晶界扩散处理后的磁片磁性能均匀，可实现晶界扩散技术制备磁体的快速连续生产。