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本发明的喷镀用粉末包含稀土元素和稀释元素,所述稀释元素为除稀土元素以外且除氧以外的元素,例如为选自锌、硅、硼、磷、钛、钙、锶和镁中的一种以上的元素。稀释元素的单一氧化物的烧结体在特定的蚀刻条件下的侵蚀速率为相同蚀刻条件下的氧化钇烧结体的侵蚀速率的5倍以上。
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