耐电浆性涂布膜的制造方法及藉助於其而形成的耐电浆性构件

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本发明涉及一种耐电浆性涂布膜的制造方法，其包括：(1)在涂布对象物上，将第一稀土类金属化合物藉由热喷涂制程形成第一稀土类金属化合物涂层的步骤；(2)对该(1)步骤中形成的第一稀土类金属化合物涂层的表面进行研磨(polishing)的步骤；及(3)使第二稀土类金属化合物气溶胶沉积於执行了该(2)步骤的加工的第一稀土类金属化合物涂层，形成第二稀土类金属化合物涂层的步骤，该第二稀土类金属化合物是与该第一稀土类金属化合物相同的成分