藉由原子层沈积方式形成混合烯土氮氧化物及氮氧化铝膜的方法

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一种闸极介电质之沉积方法，该闸极介电质包括至少两种氮氧化物或是氮氧化铝形式的稀土金属元素。该方法包含在一处理室中配置一基板以及暴露该基板於包含第一稀土前驱物的气体脉冲与包含第二稀土前驱物的气体脉冲中；亦可随意地暴露该基板於包含铝前驱物的气体脉冲中。接着，在每一前驱物气体脉冲之後，暴露该基板於含氧气体、含氮气体、或是含氧及氮气体的气体脉冲中。在另一实施例中，可使该第一及第二稀土前驱物一起产生脉冲，且可将任一者或是二者连同铝前驱物一起产生脉冲。该第一及第二稀土前驱物包含一不同的稀土金属元素。可以重复接续的暴露步骤，以沉积具有期望厚度的一混合稀土氮氧化物或是氮氧化铝层。亦可以在每一气体脉冲之後实施清洗或是排空步骤。