悬浮等离子体热喷涂用浆料、稀土类氧氟化物热喷涂膜的形成方法和热喷涂构件

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悬浮等离子体热喷涂用浆料，是用于包含含氧气体的气氛下的悬浮等离子体热喷涂的热喷涂材料，含有5质量％以上且40质量％以下的最大粒径(D100)为12μm以下的稀土类氟化物粒子，以选自水和有机溶剂中的1种或2种以上作为溶剂。能够在包含含氧气体的气氛下、采用悬浮等离子体热喷涂在基材上稳定地形成工艺偏移和颗粒的产生少的包含稀土类氧氟化物的热喷涂膜。具备该热喷涂膜的热喷涂构件对于卤素系气体等离子体的耐蚀性优异。